Проектирование генераторов в САПР Coventor MEMS+ Баранов И.Д., Тюнькин Д.К. Научные руководители: к.т.н., доцент Жук Д.М. к.т.н., доцент Маничев В.Б.. - презентация

1 Проектирование генераторов в САПР Coventor MEMS+ Баранов И.Д., Тюнькин Д.К. Научные руководители: к.т.н., доцент Жук Д.М. к.т.н., доцент Маничев В.Б.. МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра РК6, Москва, Россия

2 Тактовый кварцевый генератор Кварцевый генератор автогенератор электромагнитных колебаний с колебательной системой, в состав которой входит кварцевый резонатор. Микросхема генерации представляет собой специальную микросхему, которая при подключении к её входам кварцевого резонатора будет выдавать на остальных выводах частоту, делённую или умноженную на исходную. Тактовые кварцевые генераторы применяются в качестве задающих генераторов. Тактовые кварцевые генераторы

3 Кварцевый резонатор Кварцевый резонатор прибор, в котором пьезоэлектрический эффект и явление механического резонанса используются для построения высокодобротного резонансного элемента электронной схемы. На эквивалентной схеме: C0 - собственная ёмкость кристалла, образуемая кристаллов держателем и/или обкладками резонатора; C1, L1 - эквивалентная ёмкость и индуктивность механической колебательной системы резонатора; R1 - эквивалентное сопротивление потерь механической колебательной системы. Кварцевые резонаторы, обозначение и эквивалентная схема

4 Технология МЭМС Микроэлектромеханические системы, МЭМС устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. Преимущества МЭМС по сравнению с кварцем: Меньшие размеры; Ударопрочность; Виброустойчивость; Высокая стабильность; Меньшая стоимость. Рис.3. МЭМС-датчики и актуаторы: однокристальный акселерометр компании Analog Devices (а); увеличенное изображение подвижной части датчика (б); МЭМС (в); МЭМС микрозеркала (г).

5 Технологический процесс МЭМС и кварцевого генератора Схема тех. процесса

6 Примеры МЭМС резонаторов Зафиксированный резонатор балочного типа Нефиксированный резонатор балочного типа

7 Coventor - проектирование и моделирование МЭМС устройств

8 Проектирование в Coventor Пример модели дискового МЭМС резонатора в системе Coventor MEMS+

9 Выводы Генераторы выполненные на основе МЭМС резонаторов перспективнее кварцевых по ряду причин: - дешевизна, простота и скорость производства - ударопрочность, виброустойчивость, радиационная стойкость - малые габариты - отсутствие поверхностного монтажа - низкое энергопотребление

10 БЛАГОДАРЮ ЗА ВНИМАНИЕ