1 ФОРМИРОВАНИЕ НАНОКЛАСТЕРОВ МЕТАЛЛОВ В ГАЗОВОЙ ФАЗЕ ФОРМИРОВАНИЕ НАНОКЛАСТЕРОВ МЕТАЛЛОВ В ГАЗОВОЙ ФАЗЕ презентация к лекциям. - презентация

1 1 ФОРМИРОВАНИЕ НАНОКЛАСТЕРОВ МЕТАЛЛОВ В ГАЗОВОЙ ФАЗЕ ФОРМИРОВАНИЕ НАНОКЛАСТЕРОВ МЕТАЛЛОВ В ГАЗОВОЙ ФАЗЕ презентация к лекциям

2 2 Устройство источника осаждения нанокластеров Nanogen-50 Квадрупольный масс- спектрометр Источник нанокластеров Система вакуумной откачки

3 3 Схема устройства источника осаждения нанокластеров Nanogen 50 с масс-фильтром MesoQ

4 4 Магнетронный источник Распределение магнитных силовых линий над мишенью магнетрона и трек распыления на мишени Магнетрон со снятым анодом и установленной мишенью

5 5 Магнетронный источник Магнетрон в сборке

6 6 Т-образный блок источника осаждения нанокластеров Агрегационная труба источника осаждения нанокластеров Nanogen 50

7 7 Вход воды Выход воды Высоковольтный разъем Подача газа Устройство линейного перемещения

8 8 Квадрупольный масс-спектрометр Для анализа и разделения заряженных кластеров по размерам используется квадрупольный масс-спектрометр MesoQ. Основой квадрупольного спектрометра служат четыре стержня (монополя) и сетка детектора, на которой измеряется ток заряженных кластеров. Стержни попарно соединены друг с другом. К одной паре прикладывается положительное, а к другой – отрицательное напряжение, имеющее как постоянную (U), так и переменную (V) компоненту, изменяющуюся с частотой f: Масса М, пропускаемая масс-фильтром:

9 9 Квадрупольный масс-спектрометр Блок масс-спектрометра MesoQ

10 10 Блок управления потоком газа в камере агрегации источника нанокластеров

11 11 Блок управления мощностью магнетронного источника

12 12 Блок управления квадрупольным масс-спектрометром

13 13 Качественные зависимости среднего размера наночастиц от параметров нанокластерного источника

14 14

15 15 Масс-спектр нанокластеров тантала Распределение по размерам нанокластеров тантала