Понятие вакуума. Вакуумная техника. Семинар студентов и аспирантов ИФМ РАН докладчик: А.Е. Пестов Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур. - презентация

1 Понятие вакуума. Вакуумная техника. Семинар студентов и аспирантов ИФМ РАН докладчик: А.Е. Пестов Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

2 Понятие вакуума >~ 1. низкий вакуум: 760>Р>1 мм рт.ст. (10 5 >P>10 2 Па) 2. средний : 1>Р>10 -3 мм рт.ст. (10 2 >P>10 -1 Па) 3. высокий: >Р>10 -7 мм рт.ст. (10 -1 >P>10 -5 Па) 4. сверхвысокий: Р

3 Поршневой насос Отто фон Герике 1650 г. – первые эксперименты по изучению вакуума Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН Объемная откачка

4 Роторный форвакуумный насос Предельное давление пластинчато-роторных насосов достигает Па. 1 – рабочий объем; 2 – ротор- эксцентрик; 3 – подвижная пластина; 4 – пружина; 5 – впускной объем; 6 – выпускной объем. Недостаток: масляная откачка Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН Объемная откачка

5 Спиральный форвакуумный насос Вход Выход Предельное давление Па. Безмасляная откачка Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН Объемная откачка

6 Диффузионный насос принцип действия Предельное давление Па. ВХОД НАСОСА Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН Пароструйная откачка; наибольшее рабочее давление Па

7 Вход Выход Турбомолекулярный насос Предельное давление Па. Частота вращения тыс.об./мин Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН Молекулярная откачка; наибольшее рабочее давление Па

8 Геттеро-ионный насос Вакуумный магниторазрядный насос НМД-1 Предельное остаточное давление ~ Па. Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН Сорбционная откачка; наибольшее рабочее давление Па

9 Откачной пост Криогенный насос Азотная ловушка Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН Предельное давление Па. Магнито- разрядный насос

10 Измерители давления (вакуумметры) Жидкостный U-образный манометр Диапазон измерений Па P=ρg h ρ – плотность жидкости; g – ускорение свободного падения; h – изменение высоты Деформационный (мембранный) манометр Диапазон измерений Па а) механический датчик б) емкостной датчик Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

11 Измерители давления (вакуумметры) Термопарный вакуумметр Ионизационный (электронный) вакуумметр Ионизационный (магнитный) вакуумметр ПМТ-2 ПМИ-2 ПММ-32 Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН Низкий вакуум ( Па)Высокий вакуум ( Па) Q эл = Q и +Q к +Q т

12 Вакуумные материалы Материал Температура, °С Вода2*10 3 Па3*10 7 Па Ртуть10 -1 Па10 6 Па Индий Па10 -6 Па Алюминий Па Железо Па Медь Па Стекло Па Давление насыщенных паров материалов Способы обработки Скорость газовыделения, Па/с время с начала откачки, ч 110 Без обработки4* *10 -6 Механическая полировка4* *10 -7 Химическая полировка2* Вакуумное обезгаживание Газовыделение нержавеющей стали Материал Проницаемость, см 3 /с Температура, °С Железо Железо (He) Резина Витон Фторопласт Полиэтилен Газопроницаемость вакуумных материалов (толщина стенки 1 мм, перепад давлений 1 Па, для азота (N 2 )) при различных температурах Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН

13 Разъемные соединения Резиновое уплотнение Металлическое уплотнение Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН Скорость газовыделения, Па/с резина 7889 – 5*10 -5 резина ИРП-2043 – 3*10 -5 нерж.сталь (обезгаженная) – 10 -9

14 Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН Спасибо за внимание!

15 Учреждение Российской академии наук Институт физики микроструктур РАН Высота, кмВлияние на человека 5 Кислородное голодание 15 Дыхание не возможно ~20 Кипение межтканевой жидкости