Сканирующая зондовая микроскопия. Определения Сканирующая зондовая микроскопия – физический метод исследования поверхностных слоев с нанометровым разрешением, - презентация

1 Сканирующая зондовая микроскопия

2 Определения Сканирующая зондовая микроскопия – физический метод исследования поверхностных слоев с нанометровым разрешением, основанный на регистрации эффектов взаимодействия наноразмерного зонда с поверхностью образца. Разновидностями сканирующей зондовой микроскопии являются, в частности, сканирующая туннельная микроскопия и сканирующая атомно-силовая микроскопия.

3 История появления инструментов В 1981 г. Гердом Биннигом и Генрихом Рорером изобретен сканирующий туннельный микроскоп (СТМ) В течение последующего десятилетия были созданы атомно-силовой микроскоп, магнитно-силовой микроскоп, электросиловой микроскоп, ближнепольный оптический микроскоп и другие приборы, имеющие сходные принципы работы и называемые сканирующими зондовыми микроскопами Атомно-силовой микроскоп (АСМ) был изобретён в 1986 г. Гердом Биннигом, Кэлвином Куэйтом и Кристофером Гербером

4 Общая схема работы

5 Сканирующий элемент Уравнение обратного пьезоэффекта: где u ij – тензор деформаций, E k – компоненты электрического поля, d ijk – компоненты тензора пьезоэлектрических коэффициентов. Вид тензора пьезоэлектрических коэффициентов определяется типом симметрии кристаллов. Трубчатые пьзоэлементы позволяют получать большие перемещения объектов при небольших управляющих напряжениях

6 Сканирующий элемент - трипод Соединение трех трубок в один узел позволяет организовать прецизионные перемещения зонда в трех взаимно перпендикулярных направлениях

7 Трубчатый сканирующий элемент При подаче противофазных напряжений на противоположные секции внешнего электрода происходит сокращение участка трубки в том месте, где направление поля совпадает с направлением поляризации

8 Устройства для прецизионных перемещений Рычажной редуктор

9 Устройства для прецизионных перемещений Шаговый электродвигатель

10 Устройства для прецизионных перемещений Шаговый пьезодвигатель 1 – основание; 2 – пьезоэлектрическая трубка; 3 – электроды; 4 – разрезная пружина; 5 – цилиндрический держатель объекта.

11 Виброизолирующие системы Пассивные

12 Активные

13 Защита от акустических шумов

14 Компенсация температурного дрейфа

15 Процесс сканирования

16 ВизуализацияТрехмерная

17 ВизуализацияДвумерная

18 Устранение побочной информации Вычитание постоянной составляющей Вычитание постоянного наклона Устранение искажений, связанных с неидеальностью сканера Устранение результатов нелинейности и неортогональности перемещений сканера в горизонтальной плоскости

19 Фильтрация изображений Медианная фильтрация Усреднение по строкам Фурье - фильтрация изображений: свертка с фильтрами верхних и нижних пространственных частот, свертка с полосовыми фильтрами, обращение свертки, вычисление автокорреляционных функций

20 Восстановление поверхности по изображению Измерение: механическая свертка Восстановление: программное обращение

21 Сканирующая туннельная микроскопия Принцип основан на туннелировании электронов через энергетический потенциальный барьер

22 Зонды для туннельных микроскопов

23 Конструкция сканирующих туннельных микроскопов Измерительная головка СТМ с компенсацией термодрейфа: 1 – основание; 2 – трубчатый пьезосканер; 3 –компенсирующая пьезотрубка; 4 – металлический зонд; 5 – образец; 6 – цилиндрический держатель образца

24 Атомно-силовая микроскопия Силовое взаимодействие между зондом и поверхностью

25 Контактная атомно-силовая микроскопия Зонд находится в непосредственном соприкосновении с поверхностью Используются режимы постоянной силы и постоянного расстояния

26 Колебательные методики силовой микроскопии Регистрация параметров взаимодействия колеблющегося зонда с поверхностью

27 Аппаратная реализация

28 Достоинства метода атомно- силовой микроскопии: Спасибо за внимание! Неразрушающий характер измерений Пространственное разрешение, близкое к атомарному Сравнительно небольшое число подготовительных операций Возможность регистрации рельефа как проводящих, так и диэлектрических материалов