ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК П.А.Цыганков МГТУ им. Н.Э.Баумана В.В.Крикотин «Экструзионные машины» М.А.Попов «Экструзионные машины» - презентация

1 ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК П.А.Цыганков МГТУ им. Н.Э.Баумана В.В.Крикотин «Экструзионные машины» М.А.Попов «Экструзионные машины»

2 ТОНКИЕ ПЛЁНКИ. КАК ВСЁ НАЧИНАЛОСЬ Ирвинг Ленгмюр «Просветление» оптики – снижение RНанесение мономолекулярных слоев из раствора – метод Ленгмюра-Блоджетт ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК Промышленная технология и Массовый продукт Кэтрин Блоджетт

3 ОПТИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ Термо-вакуумные способы нанесения тонких пленок НЕПРОСВЕТЛЕННАЯ 5% ОДНОСЛОЙНОЕ ПРОСВЕТЛЕНИЕ 1.7% МНОГОСЛОЙНОЕ ПРОСВЕТЛЕНИЕ 0.2% «Мокрые» технологии Интерференционные фильтры There's Plenty of room at the Bottom Ричард Фейнман ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

4 РАСПЫЛЕНИЕ. ИОННО-ЛУЧЕВОЕ РАСПЫЛЕНИЕ Энергия ионов ~ 1keV Плотность тока > 1 mА/cm2 ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

5 МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ Мишень – катод разряда! ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

6 СТРУКТУРА ТОНКОЙ ПЛЁНКИ Термическое испарениеМагнетронное напылениеИонно-лучевое распыление Структурно-зонная модель Мовчан-Демчишин, 1969 E a /E s ПЛЕНКА ПОДЛОЖКА ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

7 ТЕНДЕНЦИЯ НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК НА БОЛЬШИЕ ПЛОЩАДИ: ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ РАВНОМЕРНОСТЬ «Утонение» ПЛЕНКА ПОДЛОЖКА GMR ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

8 ТЕНДЕНЦИЯ «Утолщение» ПЛЕНКА ПОДЛОЖКА НАНОСТРУКТУРА ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

9 СОВРЕМЕННЫЕ УПРОЧНЯЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ Эффект Холла-Петча (Hall-Petch) HV~d -0,5 ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

10 ТЕМПЕРАТУРОПРОВОДНОСТЬ ПОКРЫТИЙ Термобарьер – Thermal Barrier Coatings Термо-интерфейс – Thermal Interface Coatings C k= k e +k ph MeД Д -gradT ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

11 ВЫСОКОЭНТАЛЬПИЙНЫЕ СИСТЕМЫ. СОЗДАНИЕ НЕРАЗЪЕМНЫХ СОЕДИНЕНИЙ СВАРКА: МЕТАЛЛ, КЕРАМИКА, УГЛЕРОДНЫЕ КОМПОЗИТЫ ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

12 ВЫСОКОПРОИЗВОДИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ ДЛЯ ПЕРЕНОСА МАТЕРИАЛА В ВАКУУМЕ МНОГОСЛОЙНЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ: ПРОИЗВОДСТВО И ПРИМЕНЕНИЕ НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК: ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ РАВНОМЕРНОСТЬ ВАКУУМНО-ПЛАЗМАТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ ВАКУУМНО-ДУГОВЫЕ ИСПАРИТЕЛИ МАГНЕТРОНЫ С НЕЭКВИПОТЕНЦИАЛЬНЫМ КАТОДОМ МАГНЕТРОННЫЕ РАСПЫЛИТЕЛЬНЫЕ СИСТЕМЫ ИМПУЛЬСНЫЕ МАГНЕТРОНЫ

13 КРИТИЧЕСКАЯ ТЕХНОЛОГИЯ, которая может обеспечить качественный скачок в различных отраслях промышленности и способствовать появлению на рынке новых массовых продуктов КОНСОЛИДАЦИОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ – для развития которой необходимо сотрудничество специалистов разных направлений – от физики плазмы до материаловедения. Наукоемкая, дорогостоящая… ТОНКИЕ ПЛЕНКИ ТЕХНОЛОГИИ ТОНКИХ ПЛЕНОК

14 СПАСИБО ЗА ВНИМАНИЕ