"Системы диагностики и мониторирования ядерно-физических и нантотехнологических процессов. Некоторые вопросы метрологического обеспечения." - презентация

1 "Системы диагностики и мониторирования ядерно-физических и нантотехнологических процессов. Некоторые вопросы метрологического обеспечения."

2

3 МАТЕМАТИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ПРОСТРАНСТВЕННО- ВРЕМЕННОЙ СТРУКТУРЫ ПУЧКА ИОНОВ НА РАВНОМЕРНОСТЬ ОБЛУЧЕНИЯ ПЛЕНКИ ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРЕКОВЫХ МЕМБРАН Требуемая плотность пор на пленке 10 8 пор/см 2, допустимое отклонение не более 10 %. Горизонтальная развертка (пилообразная); частота развертки Гц, амплитуда развертки в горизонтальном направлении 20 см (равна полуширине пленки), размеры пучка 2 см.

4 Результаты расчетов Экспериментальный ток пучка

5 Результаты расчетов

6 Математическое моделирование и оптимизация Существенно нелинейный характер модели Различные параметры модели взаимозависимы. Экспериментальное определение «фазовых диаграмм» процессов. Калибровка модели Экспериментальное определение констант модели. Определение критических точек: Производительность ЭЦР источника; Потери пучка при ускорении и проводке; Потери и искажения распределения ионов по пятну при фокусировке и сканировании. Оптимизации процесса в целом Последовательная оптимизация отдельных стадий не эквивалентна оптимизации всего процесса.

7 Созданный инструмент позволяет прогнозировать ожидаемую однородность распределения плотности пор для промышленных режимов облучения. Выявлена сильная зависимость однородности облучения от размеров и формы пучка и скорости протяжки пленки. Особенности экспериментального распределения плотности пор (поперечная «полосатость» с характерным размером ~ 0.5 см) свидетельствуют о необходимости диагностики биений интенсивности пучка с частотами ~ 50 Гц.

8

9

10

11 С.И.Анисимов 1, А. А. Балдин 2, С.Ю.Анисимова³, Э.Г.Балдина 2, В.А.Лузанов 2, О.О.Денисенко ¹ 1 ООО «Дубна-Биофарм» 2 Институт перспективных исследований, Университет «Дубна» ³ Глазной Центр «Восток-Прозрение» Дубна 2010

12 Рис. 2. Изображение волокон производных целлюлозы (СЭМ)

13

14

15

16 Атомно-силовая микроскопия мембраны

17

18 Спасибо за внимание!