Программа фундаментальных исследований Президиума РАН 27 «ОСНОВЫ ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ НАНОТЕХНОЛОГИЙ И НАНОМАТЕРИАЛОВ» Раздел Программы:4. Диагностика. - презентация

1 Программа фундаментальных исследований Президиума РАН 27 «ОСНОВЫ ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ НАНОТЕХНОЛОГИЙ И НАНОМАТЕРИАЛОВ» Раздел Программы:4. Диагностика наноструктур Научное направление Программы: 4.3. Оптические методы и спектроскопия. Проект: In situ диагностика магнитных наноструктур комбинированным методом спектральной магнитоэллипсометрии. Организация Исполнитель: Институт Физики им.Л.В.Киренского СОРАН Красноярск, , Академгородок 50/38 Организации РАН – соисполнители: Институт физики полупроводников СО РАН Научный руководитель проекта: зам.дир. д.ф.-м.н., проф.Овчинников Сергей Геннадьевич тел. (391) ………… факс: (391) ………..

2 Цель работы Разработка физических принципов, методического и приборного обеспечения нового метода спектральной магнитоэллипсометрии для in situ диагностики структурных, оптических и магнитных свойств наноматериалов и структур спинтроники.

3 Для достижения цели необходимо выполнить следующие задачи: Разработать и оптимизировать новый метод спектральной магнитоэллипсометрии. 2. Создать методическое обеспечение спектральной магнитоэллипсометрии 3. Разработать принципы работы и макет автоматизированного измерительно-ростового комплекса, включающего в себя: высоковакуумный ростовой модуль, встроенный в вакуумную камеру электромагнит для измерения эффекта Керра, температурную приставку для измерений в диапазоне 77K-800K, оптическую и электронную схемы измерительного модуля. 4. Провести тестирование комплекса на модельных системах. 5. Отработать методики in situ диагностики структурных, оптических и магнитных свойств многослойных магнитных наноматериалов и структур спинтроники.

4 Задел исполнителей В результате сотрудничества двух коллективов в технологическую камеру установки МЛЭ «Ангара» встроен лазерный эллипсометр для in situ измерений. С помощью этого эллипсометра исследованы форма и размеры островков железа на подложке Si, отработан метод контроля толщины слоев Fe и Si в процессе роста наноструктур Fe/Si. Разработан и запущен в 2007г. уникальный керровский магнитометр на базе лазерного эллипсометра для in situ контроля магнитных свойств пленок.

5 Ожидаемые результаты Будет создан макет уникального, не имеющего мировых аналогов, измерительно- ростового комплекса для напыления магнитных наноструктур в сверхвысоком вакууме и их in situ диагностики. Будут отработаны методики получения структурной информации о толщинах и составе слоев в процессе роста, о структуре и размерах островков на начальной стадии роста, а также магнитных данных (намагниченность, коэрцитивная сила)