РАЗРАБОТКА НАНОЗОНДОВ ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА САМОЙЛОВ Л.Л. /СПБ ГУ ИТМО/ - презентация

1 РАЗРАБОТКА НАНОЗОНДОВ ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА САМОЙЛОВ Л.Л. /СПБ ГУ ИТМО/

2 ЦЕЛИ ПРОЕКТА Разработка автоматизированной технологии изготовления металлических зондов из W для сканирующих зондовых микроскопов. Контроль и управление параметрами нанозонда.

3 МОТИВАЦИЯ СЗМ – базовый инструмент нанотехнологии. Нанозонд – один из основных узлов, определяющих параметры СЗМ. Кроме того, острые металлические иглы используют как автокатоды в РЭМ и ПЭМ, а также в жидкометаллических источниках ионов в системах с ФИП.

4 ПРОБЛЕМА И ПРЕДПОСЫЛКИ Адекватность интерпретации СЗМ-данных определяется во многом формой зонда, при помощи которого исследуется топография, локальные физические свойства объекта, осуществляется управляемая наномодификация. Отсутствие методов гарантированного воспроизводства параметров зонда – основная причина артефактов.

5 СУТЬ НИОКР Суть работы – исследование механизмов и факторов, влияющих на формирование геометрии зонда, и создание законченной технологии их изготовления с высокой воспроизводимостью. ! Невозможность решения проблемы «в лоб», необходимость фундаментальных исследований, поскольку речь идет о создании нанозондов, представляющих собой наноструктуры с размерами порядка 100х100х100 атомов.

6

7 ЭТАПЫ НИОКР Создание и исследование модели процесса; Отработка параметров многофакторного эксперимента; Разработка и исследование схем травления для различных форм электродов; Выбор оптимальной технологии, оценка экономических параметров.

8 РЕЗУЛЬТАТ И ПРЕИМУЩЕСТВА На данный момент - зонды с неуправляемыми параметрами, радиусом закругления кончика ~100 нм при воспроизводимости 50%. Ожидаемый результат - металлические зонды с полностью управляемой геометрией, радиусом не более 50 нм и высокой степенью воспроизводимости ( 100%). На данный момент нет законченных аналогов. Широта потенциальных применений и потребителей – от образовательных и научных применений до промышленных технологий.

9 КОММЕРЦИАЛИЗУЕМОСТЬ Широта спектр приложений для разрабатываемого продукта Понятный потенциальный рынок, находящийся на стадии формирования (фирмы, производящие диагностические и технологические приборы для нанотехнологии – различные типы СЗМ, РЭМ, ПЭМ, приборы на основе ФИП) Выход на рынок с прибором и запатентованной методикой для изготовления нанозондов.

10 БЛАГОДАРЮ ЗА ВНИМАНИЕ !