Формирование и исследование наноразмерных объектов с помощью экспериментальных методик развитых в НИИЯФ МГУ Автор: Черн ых Павел Николаевич.. - презентация

1 Формирование и исследование наноразмерных объектов с помощью экспериментальных методик развитых в НИИЯФ МГУ Автор: Черн ых Павел Николаевич..

2 Экспериментальные методики. Магнетронное осаждение. Возможность осаждения покрытий одновременно до трех мишеней ; Реализация режимов постоянного и переменного тока ; Равномерное нанесение покрытий на подложки диаметром до 10см 10 ; Возможность нанесения покрытий на разогретую до 850 о С подложку с контролем температуры. 850 о С

3 Экспериментальные методики. Комплекс ионно-пучковых методик. Резерфордовское обратное рассеяние ; Ядерное обратное рассеяние ; Спектрометрия ядер отдачи ; Исследование кристаллической структуры в режиме каналирования ; Методика PIXE PIXE ; Методика спектрометрии рассеяния ионов средних энергий ;

4 Экспериментальные методики. Комплекс ионно-пучковых методик. Возможности : Определение элементного состава исследуемого покрытия вплоть до изотопов ; Определение толщин слоев исследуемых многослойных структур ; Определение качества кристаллической структуры исследуемых покрытий ; Разрешение по глубине от монослоя, с толщиной анализируемых покрытий до 4мкм 4mkm; Неразрушающие методики исследования покрытий.

5 Экспериментальные методики. Ионная имплантация. Основные характеристики установки : Энергия ионов до 500 кэВ для однозарядных ионов Широкий диапазон масс ионов (от 1 до 250 а.е.м.) 500 keV ( а.е.м.); Диаметр легируемых пластин – до 150 мм – 150 ; Возможность проведения легирования пластин в различных температурных режимах ;

6 Экспериментальные методики. СЭМ и АСМ. Электронная микроскопия : Сканирующая электронная микроскопия на базе микроскопа Lyra FEI Lyra FEI ; Совмещенный рентгеновский микроанализ X ; Ионная литография нанометрового диапазона; ; Атомно-силовая микроскопия : Сканирующая зондовая микроскопия совмещенная с Рамановской спектроскопией на базе многофункциональной платформы ИНТЕГРА СПЕКТРА NT-MDT NT-MDT ; Сканирующая зондовая микроскопия NT-MDT NT-MDT ; Сканирующая зондовая микроскопия Femtoscan Femtoscan ;

7 Экспериментальные исследования. Создание ультратонких пленок кремния на сапфире. –Проведены исследования процесса рекристаллизации пленок кремния после ионной имплантации в различных режимах с последующим высокотемпературным отжигом; –Создана тонкопленочная структура для дальнейшего производства интегральных микросхем; –Разработана методика контроля качества на всех этапах получения КНС-структур создана структура с толщиной кристаллического слоя 100нм. – ; – 100

8 Экспериментальные исследования. Разработка высокочувствительного сенсора магнитного поля на основе эффекта гигантского магнитосопротивления.. Проведены экспериментальные исследования магнитных и сенсорных свойств полученных структур ; Определены условия и технология получения спин-диодных структур с параметрами оптимальными для создания сенсора магнитного поля Разработана и реализована экспериментальная установка для измерения экспериментальных образцов ГМС-сенсоров Разработан экспериментальный образец ГМС-сенсора малых магнитных полей

9 Экспериментальные исследования. Создание композитных материалов с применением углеродных нанотрубок. Разработаны методики получения УНТ на различных подложках ; Проведены исследования зависимостей усилия на разрыв, микротвердости, теплопроводности, электрофизических и других свойств разрабатываемых композитов от концентрации и ориентации УНТ в полимере

10 Контактная информация Научно-исследовательский институт ядерной физики имени Д.В. Скобельцына (НИИЯФ МГУ) Москва, Ленинские горы, д.1, стр.5 Тел. (495) D.V , 1, 5 (495)