Микроминиатюризация и приборы наноэлектроники. Подготовил студент 3 курса группы 21302 Лебедев П.А. - презентация

1 Микроминиатюризация и приборы наноэлектроники. Подготовил студент 3 курса группы Лебедев П.А.

2 МИКРОЭЛЕКТРОНИКА направление электроники, связанное с созданием приборов и устройств в микроминиатюрном исполнении и с использованием интегральной технологии их изготовления геометрические размеры имеют размеры порядка нескольких микрометров и меньше.

3 Производство Леги́рование добавление в состав материалов примесей с целью контролируемого изменения электрических свойств полупроводника. Фотолитогра́фия метод получения рисунка на тонкой плёнке материала, с помощью света определенной длинны волны

4 Легирование Ио́нная импланта́ция введение атомов примесей в поверхностный слой пластины, бомбардировкой его поверхности пучком ионов c высокой энергией ( КэВ). Нейтронно-трансмутационное легирование - легирующие примеси не вводятся в полупроводник, а образуются из атомов исходного вещества в результате ядерных реакций, вызванных облучением исходного вещества нейтронами Термодиффузия 1.Осаждение легирующего материала 2.Термообработка 3.Удаление легирующего материала

5 Фотолитогра́фия На толстую подложку (кремний) наносят тонкий слой материала, из которого нужно сформировать рисунок. На этот слой наносится фоторезист. Производится экспонирование через фотошаблон Облучённые участки фоторезиста изменяют свою растворимость и их можно удалить химическим способом (процесс травления). Освобождённые от фоторезиста участки тоже удаляются. Заключительная стадия удаление остатков фоторезиста.

6 Паразитная ёмкость нежелательная ёмкостная связь, возникающая между проводниками или элементами электронных схем. Паразитные ёмкости нужно принимать во внимание в микроэлектронных схемах, поскольку в них расстояние между проводниками мало, а их площадь может быть достаточно большой. В результате в схеме может образоваться конденсатор, что является нежелательным. Одна из основных задач проектировщика компенсировать или минимизировать эффект паразитных утечек.

7 Наноэлектроника область электроники, занимающаяся разработкой физических и технологических основ создания интегральных электронных схем с характерными топологическими размерами элементов менее 100 нанометров.

8 Однако принципиально новая особенность наноэлектроники связана с тем, что для элементов таких размеров начинают преобладать квантовые эффекты.

9 Наиболее значительные достижения сегодняшнего дня 1.Открытие и контролируемое изготовление углеродных трубок и их использование для создания электронных приборов 2.Позиционирование индивидуальных молекул на электрических контактах и измерение электронного транспорта 3.Зондовые технологии (STM/AFM) для манипуляции нанообъектами и изготовление с их помощью наноструктур. 4.Развитие физических и химических методов синтеза нанокристаллов и монослоев и их «сборка» в упорядоченные структуры 5.Создание наноустройств на основе биомолекул и супрамолекул. 6.Локализация биомоторов и их использование в небиологических наносистемах

10

11

12