Алматы, 2015 Шонгалова Айгуль. 2 * Гетеропереходом называется контакт двух различных по химическому составу полупроводников. * Гетероструктурой называется. - презентация

1 Алматы, 2015 Шонгалова Айгуль

2 2 * Гетеропереходом называется контакт двух различных по химическому составу полупроводников. * Гетероструктурой называется полупроводниковая структура с несколькими гетеропереходами. * Гетеропара – соединения, на основе которых создается гетероструктура.

3

4 4

5 Гетеропара GaAs/AIGaAs. Зонная диаграмма

6 6

7 Космическая станция «Мир»

8 8

9 9 Структура гетеропереходов

10 10

11 11 Некоторые параметры наиболее часто используемых для создания гетеропереходов материалов

12 12 Гетеролазеры Светодиод Фотодиод Гетерофототранзисторы Фототиристор Солнечные элементы Фотодиод с гетероструктурой (1- широкозонное окно; 2- активная область; 3- подложка с переходным слоем). Схематическое изображение структуры первого гетероструктурного лазера, работающего в непрерывном режиме при комнатной температуре

13 13

14 14 Основные методы получения гетероструктур на основе кристаллического и аморфного кремния PECVD метод оптимален по следующим параметрам: скорость роста, энергозатраты, цена оборудования, поддержание вакуума PECVD метод

15 15 Метод магнетронного распыления Преимущества метода: низкая температура обработки, используются нетоксичные газы, легкое управление толщины пленки при напылении, простая настройка параметров.