Способы стабилизации катодного пятна Министерство образования и науки Российской Федерации Федеральное государственное бюджетное общеобразовательное учреждение высшего профессионального образования «ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ» (ТУСУР) Выполнил студент гр.350-1: Н.А. Прокопенко Проверил Доцент кафедры ЭП: А.И. Аксенов
Рис 1. Источник плазмы в патенте США Где: 1- Анод; 2- Распыляемый катод; 3- Диэлектрик; 4- Поджигающий электрод; 5- Плазма.
Рис. 2 Электронно-дуговой испаритель в патенте Где: 1-Анод; 2- Расходуемый катод; 3- Экран, охватывающий не рабочую поверхность электрода; 4- Поджигающий электрод; 5-Осциллятор; 6- Изолятор; 7- Реле тока; 8- Конденсатор; 9- Дроссель; 10- Контактор; 11- Дополнительный конденсатор; 12- Конденсатор; 13- Источник постоянного тока.
Средство стабилизации катодного пятна может быть выполнено в виде выступа, образованного по периметру рабочей поверхности катода. Для этого катод выполняется в форме стакана, внутренняя поверхность которого обращена в сторону анода.
Рис 3. Электронно-дуговой испаритель металлов из патента Где: 1- Корпус из немагнитного материала; 2- Катод; 3- Поджигающий электрод; 4- Анод; 5- Соленоид.
Рис 4. Распределение магнитных полей (силовых линий) при включении соленоидов.
Спасибо за внимание!