1 ФОРМИРОВАНИЕ НАНОКЛАСТЕРОВ МЕТАЛЛОВ В ГАЗОВОЙ ФАЗЕ ФОРМИРОВАНИЕ НАНОКЛАСТЕРОВ МЕТАЛЛОВ В ГАЗОВОЙ ФАЗЕ презентация к лекциям

2 Устройство источника осаждения нанокластеров Nanogen-50 Квадрупольный масс- спектрометр Источник нанокластеров Система вакуумной откачки

3 Схема устройства источника осаждения нанокластеров Nanogen 50 с масс-фильтром MesoQ

4 Магнетронный источник Распределение магнитных силовых линий над мишенью магнетрона и трек распыления на мишени Магнетрон со снятым анодом и установленной мишенью

5 Магнетронный источник Магнетрон в сборке

6 Т-образный блок источника осаждения нанокластеров Агрегационная труба источника осаждения нанокластеров Nanogen 50

7 Вход воды Выход воды Высоковольтный разъем Подача газа Устройство линейного перемещения

8 Квадрупольный масс-спектрометр Для анализа и разделения заряженных кластеров по размерам используется квадрупольный масс-спектрометр MesoQ. Основой квадрупольного спектрометра служат четыре стержня (монополя) и сетка детектора, на которой измеряется ток заряженных кластеров. Стержни попарно соединены друг с другом. К одной паре прикладывается положительное, а к другой – отрицательное напряжение, имеющее как постоянную (U), так и переменную (V) компоненту, изменяющуюся с частотой f: Масса М, пропускаемая масс-фильтром:

9 Квадрупольный масс-спектрометр Блок масс-спектрометра MesoQ

10 Блок управления потоком газа в камере агрегации источника нанокластеров

11 Блок управления мощностью магнетронного источника

12 Блок управления квадрупольным масс-спектрометром

13 Качественные зависимости среднего размера наночастиц от параметров нанокластерного источника

14

15 Масс-спектр нанокластеров тантала Распределение по размерам нанокластеров тантала