Исследование особенностей интегральных антенн А.Г. Тимошенко, К.М. Ломовская, М.О. Суслов, НИУ МИЭТ
2 Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Содержание Введение Миниатюризация антенн Напряженно-деформированное состояние ИС Пассивирующая металлизация и перфорация Обобщенная модель для исследования Схема измерения антенны Результаты моделирования Топология антенны Заключение
3 Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Миниатюризация антенн Уменьшение размеров антенны вплоть до нанометров Высокоскоростная передача данных Уменьшение размеров кристалла Уменьшение емкостных связей внутри кристалла
4 Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Напряженно-деформированное состояние Неодинаковый коэффициент термического расширения различных металлов Решение проблемы: - определенная форма и плотность распределения - технологическая металлизация - перфорация
5 Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Пассивирующая металлизация и перфорация Плотность распределения металла 20-80% (зависит от уровня металлизации) Металл возле антенны влияет на ее параметры Решение проблемы: - использование технологической металлизации (1/8 λ) - самостоятельное заполнение металлом - специальные слои - перфорация снижает НДС
6 Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Обобщенная модель антенны
7 Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Схема для исследования антенны
8 Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Проведение измерений (1)
9 Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Проведение измерений (2)
10 Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Результаты моделирования (1) Реакция на изменение входного сигнала полностью дифференциального модулятора
11 Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Результаты моделирования (2) Спектр сигнала, формируемого на антенне модулятором, при синусоидальном управляющем сигнале (а) и при меандре (б)
12 Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Результаты моделирования (3) ДНА и мощность излучения
13 Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Результаты моделирования (4) S11 и эффективность излучения
14 Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Топология антенны
15 Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Заключение Методы уменьшения электромиграции частиц металла в межсоединениях не вызывают значительного ухудшения характеристик для планарных антенн, рассчитанных на длину волны L = 26 мм, соотношение L / W 10. Эффективность интегральных антенн на кремнии довольно низкая (10-20%) Интегральная антенна может увеличить скорость передачи информации в системе на кристалле Согласование не требуется