ИФВЭ Лаборатория детектирующих систем Первые результаты тестирования опытных образцов полупроводниковых детекторов для эксперимента CBM

Лаборатория располагает Помещениями с контролируемым климатом (чистая комната класса ISO7). Набором прецизионного контрольно- измерительного и монтажного оборудования. Квалифицированным персоналом. Практическим опытом по разработке, созданию и тестированию ППД

THE CLEAN ROOM at IHEP (80m2)

Измерительный комплекс ППД Зондовая установка ЗОНД 5А Система тестирования полупроводников KEITHLEY 4200 Прецизионный ампер/вольтметр+источник напряжения KEITHLEY 6487 Многочастотный измеритель ёмкости/индуктивности FLUKE PM6306

Зондовая установка Проведена глубокая модернизация системы управления зондовой установки для тестирования полупроводниковых детекторов. Разработан пакет программного обеспечения для управления зондовой установкой и проведения измерений рабочих параметров стриповых и падовых ППД.

Общий вид

Детектор CBM01

Измерение сопротивления

Проблемы: 1.Размеры контактных иголок сопоставимы с размером площадок 2.Ненормируемое усилие прижима 3.Неоднозначная трактовка методики и результатов измерений

I-V and leakage current for CBM01 The total dark current is high up to 200mkA at 300V The sensor backside is placed on the fixture and probe needle is put on the bias line contact pad. The total leakage current between bias rail and sensor backside.

C-V and depletion voltage for CBM01 The shape of C-V curves look strange, but have been repeated several times with different contact points. Bias voltage/test contacts – to up and down bias rings. LCR-meter connected through blocking 0.68 mkF capacitor.

Full strip test (AC scan) (C-V AC pad to Bias ring scan) Bias needles – on the bottom and top bias rings, LCR meter needles on AC pad and top bias ring.

AC insulation quality N-side Even strips Odd strips Test contacts – to bias ring and AC test pad.

AC insulation quality P-side Even strips Odd stripsProblems: 1. Contact areas on P-side are too small to get it in one shot. We need at least twice more contact areas. 2. P-side bias ring covered by the insulation layer. This layer makes problem in the measurements of P-side. Contact force has to be increased to be sure the contact is OK (breaking this layer). Significant amount of breakdown AC strips on P-side may be the result of that. 3. To check insulation quality, additional DC contacts are needed.