Поликапиллярная оптика Кумахова и её применение Лютцау А.В., Болотоков А.А, Ибраимов Н.С., Лихушина Е.В., Зайцев Д.В., Никитина С.В. Институт физической оптики, Россия, Москва

Основа – принцип полного внешнего отражения

Основа – принцип полного внешнего отражения

Основа – принцип полного внешнего отражения

1- сборная линза из отдельных монокапилляров Эволюция поликапиллярной оптики – 5 поколений 2 - монолитная линза из отдельных монокапилляров -

3 - сборная линза из поликапилляров 4 – монолитная линза из поликапилляров Эволюция поликапиллярной оптики – 5 поколений

5 - монолитная интегральная микролинза для реализации субмикронных технологий Эволюция поликапиллярной оптики – 5 поколений

Эволюция поликапиллярной оптики Параметр Размер канала~ 1 mm20 nm Длина линзы1 meter~ 1 cm Число каналов >10 6 Диаметр линзы (cм)~ 10 cm0.1 Минимальное расстояние до фокуса ~ 5 cm 0.1 cm Размер фокального пятна~ 500 micron3 - 5 micron

Эволюция поликапиллярной оптики.

Реализация 3D – системы с помощью двух линз

.. Без растра С растром Использование полусферического растра Ибраимова перед окном изогнутого позиционно-чувствительного детектора позволяет проходить в детектор только радиально идущим отраженным рентгеновским лучам, очищая картину интерференции и повышая разрешение пиков с одновременным уменьшением уровня фона Возможность формирования полулинзой геометрических размеров выходящего параллельного рентгеновского пучка (линейный фокус трубки). Применение полулинз Кумахова позволяет при значительно меньших габаритах формировать параллельные пучки рентгеновских лучей на порядок большей интенсивности, чем система щелей Соллера. Следовательно, можно работать с трубками малой мощности

18 Тех. характеристики

Дифрактометрия Флуоресцентный анализ Протеиновая дифрактометрия Кристаллография Малоугловое рассеяние Проекционная микроскопия 3D – проекции Применения

Портативный дифрактометр РИКОР-4 для определения напряжений поверхностных слоях крупногабаритных изделий Контроль остаточных напряжений

Портативный рентгеновский дифрактометр для контроля ориентировки монокристаллических пластин Портативный рентгеновский дифрактометр для контроля ориентировки среза буль

Полная автоматизация. ОПРЕДЕЛЕНИЕ: Одновременно: 1. Ориентировка 2. Фазовый состав 3. Текстура 4. Напряжения Полулинза Кумахова Растр Ибраимова Размер образца (max) Диаметр – 300 мм Высота – 300 мм МОЩНОСТЬ ТРУБКИ - 50 Вт. ПОЛНАЯ РАДИАЦИОННАЯ БЕЗОПАСНОСТЬ! Не имеет аналогов XMD-300

Несимметричные отражения (113) kремния и (112) переходного слоя сапфира, полученные на скользящем первичном рентгеновском пучке Схема съёмки Рост слоя кремния на сапфировой подложке идёт по плоскостям (1_12) Это плоскости наилучшего сопряжения Рост идёт в направлении так, что базовая плоскость (100) сохраняет ориентацию базовой плоскости сапфира (1_102) или (1_12) в ортогональных координатах. 6 Съёмка на скользящем первичном рентгеновском пучке

24 ФГУП «ПУЛЬСАР»

25 Поликапиллярный растр

26

27 Поликапиллярный растр перед 1D детектором позволяет очистить спектр от отражений, идущих не из центра гониометра

28 Поликапиллярный растр перед 2D детектором позволяет очистить спектр от отражений, идущих не из центра гониометра