РГУ им. Иммануила Канта Инновационный парк Центр ионно-плазменных и нанотехнологий ОЖЕ МИКРОАНАЛИЗАТОР JAMP – 9500 F Образец до травления Образец после травления Результат профилирования многослойной структуры

Диаметр пучка в режиме Оже, не более ( в режиме 25кВ, ток пучка 1 нА) 8 нм Разрешение во вторичных электронах, не хуже ( в режиме 25 кВ, ток пучка 1пА) 3 нм Увеличение25 – крат – А. Ускоряющее напряжение0,5 – 30 кВ Разрешение в режиме Оже по энергиям 0,05 - 0,6% Система откачкибезмасляная Предельное давление в камере образцов, не более 5 х Па ОтжигВстроенный нагреватель или автоматический отжиг Температура отжига, не менее150 0 С Установка предназначена для изучения и анализа поверхности образцов различного происхождения, устойчивых в условиях сверхвысокого вакуума, получения информации о химическом составе, концентрации и химическом состоянии исследуемого соединения в сверхмалой области образца, как на поверхности, так и в малой приповерхностной области. Технические характеристики Электронно-оптическая система: Вакуумная система: Ионная пушка: Энергия ионов0, кэв Ток ионного пучка, не менее2 мкА при 3 кэв 0,03 мкА при 10 эв Скорость травления, не менее200 нм/мин при 3кэв 10 нм/мин при 10 эв. Диаметр ионного пучка, не более200 мкм