Микроминиатюризация и приборы наноэлектроники. Подготовил студент 3 курса группы Лебедев П.А.

МИКРОЭЛЕКТРОНИКА направление электроники, связанное с созданием приборов и устройств в микроминиатюрном исполнении и с использованием интегральной технологии их изготовления геометрические размеры имеют размеры порядка нескольких микрометров и меньше.

Производство Леги́рование добавление в состав материалов примесей с целью контролируемого изменения электрических свойств полупроводника. Фотолитогра́фия метод получения рисунка на тонкой плёнке материала, с помощью света определенной длинны волны

Легирование Ио́нная импланта́ция введение атомов примесей в поверхностный слой пластины, бомбардировкой его поверхности пучком ионов c высокой энергией ( КэВ). Нейтронно-трансмутационное легирование - легирующие примеси не вводятся в полупроводник, а образуются из атомов исходного вещества в результате ядерных реакций, вызванных облучением исходного вещества нейтронами Термодиффузия 1.Осаждение легирующего материала 2.Термообработка 3.Удаление легирующего материала

Фотолитогра́фия На толстую подложку (кремний) наносят тонкий слой материала, из которого нужно сформировать рисунок. На этот слой наносится фоторезист. Производится экспонирование через фотошаблон Облучённые участки фоторезиста изменяют свою растворимость и их можно удалить химическим способом (процесс травления). Освобождённые от фоторезиста участки тоже удаляются. Заключительная стадия удаление остатков фоторезиста.

Паразитная ёмкость нежелательная ёмкостная связь, возникающая между проводниками или элементами электронных схем. Паразитные ёмкости нужно принимать во внимание в микроэлектронных схемах, поскольку в них расстояние между проводниками мало, а их площадь может быть достаточно большой. В результате в схеме может образоваться конденсатор, что является нежелательным. Одна из основных задач проектировщика компенсировать или минимизировать эффект паразитных утечек.

Наноэлектроника область электроники, занимающаяся разработкой физических и технологических основ создания интегральных электронных схем с характерными топологическими размерами элементов менее 100 нанометров.

Однако принципиально новая особенность наноэлектроники связана с тем, что для элементов таких размеров начинают преобладать квантовые эффекты.

Наиболее значительные достижения сегодняшнего дня 1.Открытие и контролируемое изготовление углеродных трубок и их использование для создания электронных приборов 2.Позиционирование индивидуальных молекул на электрических контактах и измерение электронного транспорта 3.Зондовые технологии (STM/AFM) для манипуляции нанообъектами и изготовление с их помощью наноструктур. 4.Развитие физических и химических методов синтеза нанокристаллов и монослоев и их «сборка» в упорядоченные структуры 5.Создание наноустройств на основе биомолекул и супрамолекул. 6.Локализация биомоторов и их использование в небиологических наносистемах