МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ ФГАОУ ВО «СЕВЕРО-КАВКАЗСКИЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ» ИНЖЕНЕРНЫЙ ИНСТИТУТ КАФЕДРА ТЕХНОЛОГИИ НАНОМАТЕРИАЛОВ «Статистическая характеристика оценки результатов эксперимента NanoEducator II» Выполнил: Муталипов Шарафиддин С. студент 3 курса группы ННИ-б-о-16-1 направления (специальности) «Наноинженерия» очной формы обучения Руководитель работы: кандидат технических наук, доцент кафедры «Технология наноматериалов» Шевченко Ирина Михайловна Ставрополь 2019 г.
Цель: Определение степени погрешности сканеров атомно- силового микроскопа NTEGRA Aura с помощью калибровочной структуре TGQ1. Задачи: -освоит принцип работы атомно-силовой микроскоп NTERA Aura; Рассчитать степень погрешности сканеров СЗМ NTEGRA Aura, с помощью калибровочной структуре TGQ1; - рассчитать степень погрешности сканеров СЗМ комплекс NTEGRA Aura, с помощью калибровочной структуре TGQ1;- рассчитать степень погрешности сканеров СЗМ комплекс NTEGRA Aura, с помощью калибровочной структуре TGQ1; - провести анализ полученных результатов. - провести анализ полученных результатов. 4. Перечень подлежащих разработке вопросов:1) по теоретической части: 4. Перечень подлежащих разработке вопросов:1) по теоретической части:
Спасибо за внимание