Сибирское Отделение Российской Академии наук КОНСТРУКТОРСКО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ НАУЧНОГО ПРИБОРОСТРОЕНИЯ ул. Русская 41, Новосибирск, , Россия Тел: (383) , Факс: (383)

Программа фундаментальных исследований Президиума РАН 27 « ОСНОВЫ ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ НАНОТЕХНОЛОГИЙ И НАНОМАТЕРИАЛОВ » Раздел Программы: 4. Диагностика наноструктур Научное направление Программы: 4.3. Оптические методы и спектроскопия.

Исследование предельных характеристик методов диагностики наноструктур и наноустройств с использованием низкокогерентной интерферометрии Научный руководитель: проф., д.т.н. Ю.В. Чугуй Проект

Цель работ Исследование предельных характеристик бесконтактных оптических измерительных технологий для наноиндустрии, позволяющих увеличить чувствительность, разрешение, глубину наблюдения и быстродействие приборных комплексов. Разработка и совершенствование диагностического и контрольно-измерительного оборудования, обеспечивающего решение измерительных задач как в микро-, так и в нано диапазонах.

ПУБЛИКАЦИИ 1.Сысоев Е.В. Метод частичного сканирования коррелограмм для измерения микрорельефа поверхностей [Текст] // Автометрия. – – Т. 43, 1. - С //Sysoev E. V. White-Light Interferometer with Partial Correlogram Scanning Текст // Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing 2007, Allerton Press Inc, Vol 43, No. 1, P Сысоев Е.В. Оптический метод обнаружения механических дефектов на поверхностях высокого класса чистоты [Текст] / Е.В. Сысоев, И.В. Голубев, Р.В. Куликов // Автометрия. – – Т.43, 5. – С Е.В.Сысоев. Измерение нанорельефа поверхности интерферометром белого света. /Сысоев Е.В.// Международный конгресс Гео-Сибирь2007. Тезисы докладов С. 4. Chugui Yu.V. Optical Measuring Systems and Technologies for Some Urgent Tasks in Industry and Science Текст // ISMTII 2007 Proceedings of the 8th International Symposium on Measurement Technology and Intelligent Instruments, Tohoku University, Sendai, Japan, September 24-27, P Optical measuring technologies and laser systems for industrial applications Текст / Yu.V. Chugui, L.V. Finogenov, S.V. Plotnikov, A.K. Potashnikov, and A.G. Verkhogliad // ISMQC 2007 Proceedings of the 9th International Symposium on Measurement and Quality Control, Indian Institute of Technology Madras, Chennai, November 21-24, P Имеющийся научный задел

Оптический нанопрофилометр Технические характеристики: 1. Измерение нанорельефа - диапазон измерений – от 0 до 50 мкм, - разрешение по глубине – не хуже 1 нм, - поперечное разрешение – 1 мкм, - площадь измерения – ~0.9x0.7 мм 2, - время измерения – ~10 сек; 2. Измерение микрорельефа - диапазон измерений – от 0 до 10 мм, - разрешение по глубине – 0.5 мкм, - поперечное разрешение – 1 мкм, - площадь измерения – ~0.9x0.7 мм 2, - время измерения – ~15 сек; Структура на полупроводнике 100x200 мкм, высота столбиков ~200нм. Размеры участка ~0.9x0.7 мм. Разрешение по оси Z ~1 мкм. Глубина канавки ~35 мкм, ширина ~75 мкм. 3D-реконструкция образцов поверхности

Создание лабораторного стенда для исследований предельных характеристик методов диагностики наноструктур и наноустройств с использованием низкокогерентной интерферометрии. Подготовка стендовых экспериментов. Создание программ автоматической регистрации и обработки интерферограмм частично когерентного света. Отработка существующих и разработка новых алгоритмов обработки экспериментальных данных. Теоретическое и экспериментальное исследование факторов, влияющих на предельные характеристики методов диагностики наноструктур и наноустройств в зависимости от структурно-морфологических особенностей объекта исследования. Создание программно-алгоритмического обеспечения, которое представит широкие возможности по автоматическому измерению, 3D реконструкции и визуализации структурно-морфологических особенностей поверхностей объектов исследования на микро- и нано уровнях. Сбор и обработка экспериментальных данных, полученных на образцах с различными морфологическими и физическими свойствами. Анализ стендовых экспериментов. Краткое содержание исследований

Ожидаемые результаты Будет разработан и изготовлен лабораторный стенд для исследований предельных характеристик методов диагностики наноструктур и наноустройств с использованием низкокогерентной интерферометрии. Будут исследованы предельные характеристики методов диагностики наноструктур и наноустройств с использованием низкокогерентной интерферометрии в зависимости от структурно-морфологических особенностей объектов исследования. Будут предложены новые схемотехнические решения конкурентоспособных оптических измерительных комплексов в сфере наноинженерии и эффективные алгоритмы автоматической расшифровки интерферограмм и 3D реконструкции нанорельефа поверхности.

Спасибо за внимание