Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия Лебедев Владимир « Химия » 206 группа.

Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия ( РФЭС ) полуколичественный спектроскопический метод исследования элементного состава, химического и электронного состояния атомов, на поверхности изучаемого материала. Он основан на явлении внешнего фотоэффекта.

Внешним фотоэффектом называется испускание электронов веществом под действием электромагнитных излучений. Электроны, вылетающие из вещества при внешнем фотоэффекте, называются фотоэлектронами, а электрический ток, образуемый ими при упорядоченном движении во внешнем электрическом поле, называется фототоком.

РФЭС метод химического анализа поверхности, который может быть использован для анализа химического состояния материала, как в его первоначальном состоянии, так и после некоторой обработки, например, после помещения в атмосферу реактивного газа или раствора или облучения ультрафиолетовым светом.

Спектры РФЭС получают облучением материала пучком рентгеновских лучей с регистрацией зависимости количества испускаемых электронов от их кинетической энергии. Исследуемые электроны ионизируют ся ( подвергаются радиации ) по всей глубине проникновения используемого мягкого рентгеновского излучения в исследуемый образец.

Однако, выбитые рентгеновскими квантами электроны сильно поглощаются исследуемым веществом настолько, что эмитированные на глубине около 100 Å они уже не могут достичь поверхности и, соответственно, быть детектированными прибором.

Именно поэтому методом РФЭС можно собрать информацию о самых верхних ( около 10-30) атомных слоях образца без информации об его объеме. Поэтому РФЭС незаменим, как метод анализа и контроля в ряде отраслей таких, как полупроводниковая индустрия, гетерогенный катализ, и т. д.