Атомно-силова мікроскопія молекулярна взаємодія: Е = F Δ S Е ~ еВ; Δ S ~ Ǻ F ~ Н Роздільна здатність АСМ Лазерний промінь чутливі положення детектора Кантілевер із наконечником зразок x-y: 1нм; z: 0.1нм

Загальна схема АСМ Переміщення наконечника / переміщення зразка: U = ± 220 В х, у-осі: мкм z-вісь: мкм закритий / відкритий контур управління

Основні режими роботи АСМ

Контактний режим вимірювання топографії поверхні в контактному методі Висока роздільна здатність. Можливість визначати деформацію в системі вістря - поверхня. Можливість визначати площу контакту або модуль пружності. Незначний температурний дрейф.

Безконтактний режим Сканування з використанням безконтактного методу Коливання кантілівером, зонд не в контакті із зразком Використовується для м'яких зразках Візуалізація в вакуумі Відстань до 50 Ǻ Ǻ Виявлення : амплітуди фаз відхилення

Напівконтактний режим Сканування з використанням безконтактного методу Використовується вібраційна методика, при якій вістря, що коливається злегка стукає по поверхні зразка. Робота без пошкодження поверхні. Висока силова роздільна здатність. Незначний температурний дрейф. Низька просторова роздільна здатність

Зображення структур АСМ зображення ділянки поверхні плівки поліетилену одержані в "напівконтактному" режимі (а) - рельєф поверхні, одержаний в режимі постійної амплітуди (б) - відповідний розподіл фазового контрасту

Зображення наноструктурZnO та GaAs Зображення окремих елементів оксиду цинку

Висновки: Отже, в даній роботі було розглянуто метод атомно-силової мікроскопії, як один із видів скануючоїзондової мікроскопії. було розглянуто принцип роботи і режими роботи. Представлені деякі знімки, отримані цим методом. Проте потрібно сказати, на перерахованих вище методиках можливостіСЗМдалеко не закінчуються. Тут проілюстровані тількинайпоширеніші методики роботи. Вельмидужеперспективним єтакий напрямрозвитку СЗМяк нанолітографія і наноманіпуляції, комбінування приладів з різного роду спектральними аналізаторами, реалізація методик, здатнихвиявляти під поверхневі дефекти (на основі збудження ультразвукових коливань в зразку, теплового збудження і ін.), створеннябагатоканальних сенсорів, в яких використовується не один зонд, а десятки і навіть тисячі. Теоретично, СЗМможе відобразитибудь-яку поверхню, будь-якої форми і в будь- яких умовах. Реалізація стримується тількиапаратними обмеженнями, алевраховуючи темпи розвитку електронної техніки, вже найближчим часомможна чекати істотногорозширення сфери застосуваньСЗМ. Також розглядається можливість за допомогою СЗМ впливати на поверхню (наприклад, фірма ІВМ створили нанонапис «ІВМ»).