ЛАЗЕРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ Лекция-13 НИЯУ МИФИ ФАКУЛЬТЕТ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНОЙ И ТЕОРЕТИЧЕСКОЙ ФИЗИКИ Кафедра 70

ЛАЗЕРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ. Уровень основных операций. Лазерный отжиг полупроводников после ионной имплантации В технологии создания полупроводниковых приборов метод ионной имплантации получил широкое распространение в силу ряда преимуществ перед традиционными способами введения примесей в полупроводниковые кристаллы (эпитаксия, диффузия, сплавление). К основным преимуществам относятся: сокращение длительности процесса введения примесей, однородность распределения и воспроизводимость параметров, возможность точного контроля количества вводимых атомов примеси, отсутствие необходимости поддерживать высокую температуру в процессе имплантации. В то же время метод ионной имплантации имеет существенный недостаток, заключающийся в том, что бомбардировка тяжелыми частицами приводит к образованию радиационных дефектов, а большинство имплантированных атомов занимает нерегулярные положения в решетке и поэтому электрически неактивны. В связи с этим необходимо проведение соответствующей термообработки ионно-легированных образцов (отжиг), во-первых, для того, чтобы восстановить кристаллическую решетку и, во-вторых, чтобы перевести имплантированные атомы в электрически активные состояния. В середине 70-х годов было обнаружено, что облучение короткими мощными лазерными импульсами нарушенного при ионной имплантации аморфного слоя полупроводника приводит к восстановлению совершенной кристаллической структуры и электрической активации введенной примеси.

ЛАЗЕРНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВ. Уровень основных операций. Лазерный отжиг полупроводников после ионной имплантации Существует достаточно много моделей, объясняющих процессы импульсного лазерного отжига. Наиболее общей считается тепловая модель. Среди нетепловых теорий выделяются плазменная модель и модель, основанная на теории перехода Пайерлса. Саму процедуру лазерного отжига можно проводить путем как твердофазной, так и жидкофазной эпитаксиальной кристаллизации от ненарушенной подложки. В первом случае в результате лазерного нагрева температура приповерхностного слоя, поглотившего излучение, не превышает температуру плавления, во втором - превосходит ее. Первый режим, как правило, реализуется при использовании «длинных» (более 1 мкс) импульсов лазерного излучения, второй - при использовании наносекундных и пикосекундных импульсов. Анализ многочисленных экспериментальных результатов показывает, что наиболее интересные из них как с физической, так и с практической точек зрения получены в режиме воздействия наносекундных и пикосекундных импульсов излучения. Отличительной особенностью лазерного отжига наносекундными импульсами излучения является наличие больших градиентов температуры (10 8 К/с), так что на границе раздела твердой и жидкой фаз скорость движения фронта кристаллизации аномально высока (до 10 3 см/с).

Уровень основных операций. Лазерный отжиг полупроводников после ионной имплантации При лазерном отжиге в наносекундном режиме реализуются наиболее интересные эффекты: достижение высокого совершенства восстановления кристаллической структуры при отсутствии макроскопических дефектов; высокая эффективность легирования при больших дозах имплантации; достижение концентрации примесей в замещающих положениях с существенным превышением пределов равновесной растворимости. В таблице приведены сравнительные данные по растворимости примесей в кремнии в равновесных условиях и при наносекундном отжиге.

Уровень основных операций. Лазерное легирование является альтернативной операцией относительно ионной имплантации с последующим импульсным лазерным отжигом. Лазерное легирование полупроводниковых материалов может быть реализовано на практике различными способами: обработка структур «пленка диффузанта - матрица»; обработка материалов в камере высокого давления; обработка материалов в жидкостях; инжекция мелких частиц в расплавленный излучением слой материала. Процесс лазерного легирования включает несколько стадий: 1)нанесение пленки диффузанта на матрицу, 2) облучение на воздухе, 3) облучение в вакуумной камере, 4) облучение через прозрачное покрытие Лазерное легирование

Упрощенная модель процесса лазерного легирования. 1) энергия лазерного излучения поглощается в тонком слое облучаемого вещества пленки и практически мгновенно решетке поглощающего материала; 2) материал, поглотивший излучение, за время ~ 1 нс нагревается до температуры плавления. 3) одновременное существование расплава материала пленки и матрицы; 4) атомы пленки и матрицы имеют возможность взаимно перемешиваются в жидкой фазе; 5) в результате процесса диффузии формируется определенное распределение атомов пленки в поверхностном слое матрицы; 6) процесс остывания материала происходит в условиях быстрого движения фронта отвердевания со скоростями 10 м/с от границы раздела жидкость - твердое тело по направлению к поверхности.Движение этого фронта фиксирует концентрационный профиль атомовлегирующего элемента в поверхностном слое матрицы.

Уровень основных операций. Пример формирования n-р-перехода в GaAs методом лазерного легирования. Лазерное легирование В качестве подложки выбирался GaAs-р-типа проводимости (АГЧЦ, р~10 19 см) толщиной 0,3 мм. Экспериментально измеренное пропускание излучения с длиной волны 1,06 мкм для данных образцов составляло 50%. Этапы обработки образцов приведены на рисунке. На химически полированную поверхность подложки наносились пленки толщиной 400 Å и 3000 Å. Напыление пленок производилось через структурную маску, состоящую из квадратов со стороной 700 мкм и расстоянием между квадратами 300 мкм, плотно соприкасающуюся с поверхностью GaAs. Облучение тонкой (400 Å) пленки проводилось со стороны пленки, а толстая пленка (3000 Å) облучалась с обратной стороны пластины GaAs после снятия структурной маски.

Уровень основных операций. Создание силицидов Одним из требований планарной технологии БИС является низкое контактное сопротивление новых материалов, максимально большая проводимость соединительных проводящих дорожек и химическая стойкость материала проводящих дорожек к травителям, содержащим плавиковую кислоту. Наиболее полно этим требованиям соответствуют силициды металлов. Использование силицидов открывает широкие перспективы в изготовлении монолитных структур «полупроводник-металл- полупроводник». Традиционно пленки силицида получают отжигом систем «металлическая пленка- полупроводниковая подложка» в вакуумных печах. Однако длительное высокотемпературное воздействие на материал может привести к перераспределению примесных атомов, что неприемлемо в планарной технологии изготовления приборов микроэлектроники. В связи с этим в последние годы серьезное внимание технологов привлекают методы быстрого термического отжига структур «металл-кремний» электронными и лазерными пучками, а также ламповый отжиг для создания тонких слоев силицидов. Использование лазерного излучения, когда вся энергия пучка теряется в основном в очень тонком приповерхностном слое, позволяет создавать тонкие слои силицидов, что делает этот способ привлекательным для таких приложений, как создание проводящих дорожек в СБИС.

Уровень основных операций. 3. Создание силицидов Хорошо изучены процессы образования силицидов платины, палладия, никеля, молибдена и ниобия под действием неодимового лазера. В экспериментах пленки названных элементов толщиной нм вжигались в Si при плотности энергии излучения 1,8-4,5 Дж/см 2 и длительности импульса 100 нс. В результате облучения получались однородные по глубине многофазовые слои силицидов, которые исследовались методом обратного резерфордовского рассеяния ионов Не +, сканирующей электронной микроскопией и рентгеновским анализом. Исследования микроструктуры показали, что полученные слои являются результатом плавления тонкого слоя, перемешивания атомов металла с кремнием в жидкой фазе и быстрой рекристаллизации. Например, при облучении тонкой пленки 45 нм Pt импульсами в диапазоне плотностей энергии 2-5 Дж/см 2 было обнаружено, что глубина прореагировавшего слоя меняется со 170 до 46О нм, а средний состав - от PtSi 2,7 до PtSi 10,4. Сравнение результатов с результатами, полученными для обычной термодиффузии, показывают, что слои формируются не за счет твердофазной диффузии. Полученные фазы, как показывает микроструктура, растут из сильно переохлажденной жидкой фазы. Это означает, что металлическая пленка нагревается и реагирует с кремнием при температуре эвтектики, формируя тонкую пленку сплава «металл-кремний».

Уровень основных операций. Создание силицидов При изучении структуры слоев силицидов Pd, Mo, и Со, образующихся под действием излучения АИГ: Nd -лазера с длительностью импульса 180 нс, с помощью просвечивающей электронной микроскопии было установлено, что эти силициды состоят из двух видов зерен (ячеек) с большей концентрацией металла в их стенках (оболочках): малые зерна с диаметром 0,1 мкм, получающиеся при быстром затвердевании переохлажденного расплава, и большие зерна ~1 мкм, получающиеся при перемешивании в расплаве. Дифракция рентгеновских лучей и каналированные спектры при обратном резерфордовском рассеянии ионов He + показывают, что в системе Co/SiCo, находящейся внутри зерен, располагается в узлах матрицы Si или образует соединение CoSi 2, имеющее ту же ориентацию, что и эпитаксиально выросший Si. В случае Pd и Mo это не наблюдалось. При облучении системы Mo/Si было обнаружено гексагональное соединение MoSi 2 и не было тетрагонального соединения MoSi 2, которое получается из высокотемпературной фазы. Силициды Pd состояли из соединений Pd 2 Si и PdSi 2. Расчет температурных профилей в системе «металл-полупроводник» (кремний) показывает, что для формирования слоя силицида больше 100 Å при температуре ниже точки плавления необходимо проводить облучение импульсами длиннее 1 мкс. При облучении импульсами короче с формирование силицидов и эпитаксиальный рост кремния происходит при температуре выше температуры плавления кремния.