Алматы, 2015 Шонгалова Айгуль

2 * Гетеропереходом называется контакт двух различных по химическому составу полупроводников. * Гетероструктурой называется полупроводниковая структура с несколькими гетеропереходами. * Гетеропара – соединения, на основе которых создается гетероструктура.

4

Гетеропара GaAs/AIGaAs. Зонная диаграмма

6

Космическая станция «Мир»

8

9 Структура гетеропереходов

10

11 Некоторые параметры наиболее часто используемых для создания гетеропереходов материалов

12 Гетеролазеры Светодиод Фотодиод Гетерофототранзисторы Фототиристор Солнечные элементы Фотодиод с гетероструктурой (1- широкозонное окно; 2- активная область; 3- подложка с переходным слоем). Схематическое изображение структуры первого гетероструктурного лазера, работающего в непрерывном режиме при комнатной температуре

13

14 Основные методы получения гетероструктур на основе кристаллического и аморфного кремния PECVD метод оптимален по следующим параметрам: скорость роста, энергозатраты, цена оборудования, поддержание вакуума PECVD метод

15 Метод магнетронного распыления Преимущества метода: низкая температура обработки, используются нетоксичные газы, легкое управление толщины пленки при напылении, простая настройка параметров.