Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко Радиофизический факультет Изготовление, свойства и применение пленок ITO Л.В.Ищук, доцент кафедры электрофизики, канд. физ.-мат. наук
Что представляют собой пленки ITO? см -3 см 2 /В с Ом см Т = % R = 95…98 % ITO = indium-tin oxide = In 2 O 3 :Sn = In 2 O 3 (Sn) = In 2-x Sn x O 3-y
Применение пленок ITO Авиация, транспорт Прозрачные антиобледенительные покрытия Сельское хозяйство Отражающие ИК излучение и пропускающие видимую часть спектра покрытия для теплиц Газовые датчики CO, CO 2, H 2.
Защитные покрытия Пленки имеют высокую стойкость к истиранию, потому используются для защиты стеклянных и пластиковых поверхностей от механических повреждений. Космос Высокая электропроводность и прозрачность пленок позволяет выровнять потенциал на поверхности спутников (статический заряд может достигать 10кВ), не искажая показания оптических приборов.
Солнечные ячейки на гетеропереходах Преимущества по сравнению с ячейками на p-n переходе: 1. Более простое изготовление перехода из-за более низкой температуры его формирования. 2. Солнечное излучение попадает непосредственно в активную область ячейки практически без потерь. 3. Пленка служит одновременно и низкоомным контактом и окном в активную область. К.п.д. до 15%.
Прозрачные электроды для органических светоизлучающих диодов (OLED)
1. Эффективная инжекция носителей заряда из контактов в органическую пленку. 2. Перенос носителей заряда к центрам рекомбинации. 3. Рекомбинация носителей заряда. 4. Излучение кванта света. Возникновение излучения в OLED
Химические методы получения пленок ITO
Метод магнетронного распыления Торр
Влияние содержания кислорода в пленках ITO на их свойства - figure of merit, - поверхностное сопротивление пленки
Влияние содержания олова в пленках ITO на их свойства
Влияние температуры подложки на свойства пленок ITO
Нити индия в пленках ITO после нагревания их протекающим током Увеличение при фотографировании 3000:1. Поперечный размер нитей ~ 1 мкм. Состав пленки в указанных точках: 1 – 91%In:9%Sn; 2 – 99%In:1%Sn.
Форма пленки ITO для измерения поля Холла
см 2 /В с см -3 см 2 /В с см -3 Завимость поля Холла от магнитного поля Условие слабого магнитного поля см 2 /В с см -3
Расчет поля Холла в пленках ITO при наличии двух типов электронов : быстрых и медленных
Определение концентрации и подвижности быстрых и медленных электронов
Зависимость степени нелинейности поля Холла от содержания олова в пленках IТО
Эффект магнитосопротивления в пленках IТО при комнатной и азотной температурах
Выводы 1. Пленки ITO имеют широкое применение в науке, технике, хозяйстве вследствие своих уникальных свойств: высокая электропроводность, прозрачность в видимой части спектра и отражение в ИК области. 2. Для получения их существует много способов, каждый из которых имеет свои преимущества и недостатки. 3. Свойства пленок ITO сильно зависят от их состава и условий нанесения. 4. Пленки ITO представляют собой интересный объект для фундаментальных исследований вследствие своей слабоисследованности. Обнаружение в них двух типов носителей заряда и отрицательного магнитосопротивления при температуре жидкого гелия тому подтверждение.
Дякую за увагу !