Коррекция нелинейности сканера АСМ по изображениям тестовых структур Научный руководитель Малевич А.Э. доцент кафедры ДУ, кандидат физ.-мат. наук Лукьянова.

Презентация:



Advertisements
Похожие презентации
Коллизии в трудовом праве Научный руководитель: Курылёва Ольга Сергеевна, кандидат юридических наук, доцент кафедры гражданского процесса и трудового права.
Advertisements

Обработка изображений, полученных методом атомно-силовой микроскопии Руководитель Сыроежкин Сергей Владимирович Ассистент кафедры ДУ БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ.
Белорусский государственный университет Механико-математический факультет Кафедра функционально анализа Жук Анастасия Игоревна Системы дифференциальных.
Научный руководитель : кандидат юридических наук, доцент кафедры международного права Старовойтов Олег Михайлович.
Методы предварительной обработки дактилоскопических изображений в биометрических системах идентификации личности Магистерская диссертация Кривицкой Д.П.
ТАЦОГРНПСТАЦОГРНПС Бизнес-планирование теория и практика Соискатель – Лю Хайшень Научный руководитель – кандидат экономических наук Короткевич А.И. Диссертация.
БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ Механико-математический факультет Кафедра геометрии, топологии и методики преподавания математики Сергеева Юлия.
Белорусский государственный университет Кафедра дифференциальных уравнений и системного анализа Диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических.
Белорусский государственный университет Механико-математический факультет Кафедра теоретической и прикладной механики Царева Алина Александровна Кинематическое.
Обеспечение исполнения обязательств Научный руководитель: кандидат юридических наук, доцент Ананич C.М. Н.Р. Марковник.
ТАЦОГРНПСТАЦОГРНПС Инвестиционная деятельность в РБ Соискатель – Довнар П.Ю. Научный руководитель – кандидат филологических наук Лаврененко А.В. Диссертация.
Трансформация цифровых технологий в аудиовизуальных сми Диссертация на соискание степени магистра филологических наук Аспирант – Бабинович Н.Н. Научный.
ТАЦОГРНПСТАЦОГРНПС Налоговая система РБ и КНР Соискатель – ли цюнцюн Научный руководитель – мельникова Н.А доцент Диссертация на соискание степени магистра.
Субъекты конституционно- правовой ответственности Научный руководитель: Масловская Т.С.
Диссертация на соискание степени магистра педагогических наук Соискатель – Майсюк О. Н. Научный руководитель – кандидат филологических наук профессор Лебединский.
Титульный слайд - тема и руководитель *актуальностьактуальность *Поставленные цели и задачиПоставленные цели и задачи *Объект и предмет исследованияОбъект.
ТАЦОГРНПСТАЦОГРНПС Корпус текстов китайского языка для автоматической обработки Соискатель – Чэн Ин Научный руководитель – доцент Грек Н.Г. Оценка эффективности.
ТАЦОГРНПСТАЦОГРНПС Совершенствование система налогообложение в сфере предпринимательской деятельности Соискатель – Чжэн Вэньцзя. Научный руководитель –
ТАЦОГРНПСТАЦОГРНПС Стратегическое планирование и правление на основе системы сбалансированных показателей Соискатель – Чжан Ю. Научный руководитель – кандидат.
ТАЦОГРНПСТАЦОГРНПС факторы конкурентоспособности предприятий в Республике Беларусь и КНР ЧЖао Цзыхуа. Научный руководитель – кандидат филологических наук.
Транксрипт:

Коррекция нелинейности сканера АСМ по изображениям тестовых структур Научный руководитель Малевич А.Э. доцент кафедры ДУ, кандидат физ.-мат. наук Лукьянова М.Ю. БЕЛОРУССКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ МЕХАНИКО-МАТЕМАТИЧЕСКИЙ ФАКУЛЬТЕТ КАФЕДРА ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫХ УРАВНЕНИЙ

Содержание Актуальность Цели и задачи Основные понятия Объект и предмет исследований Научная гипотеза Основные результаты Положения, выносимые на защиту

Актуальность Широкое применение методов атомно-силовой микроскопии Расхождение теоретических результатов измерений при помощи АСМ с данными, получаемыми на практике. Необходимость калибровки устройства АСМ для устранения ошибок измерений

Цели и задачи Разработать алгоритм для корректировки нелинейности сканера АСМ по изображениям тестовых структур

Основные понятия Нелинейность сканера – нелинейная функциональная зависимость ширины шага при перемещении зонда сканера Корректирующая функция – функция, устраняющая последствия влияния нелинейности сканера на полученных изображениях

Основные понятия Тестовая структура - специальный периодический поверхностный образец с известными физическими и геометрическими параметрами

Объект и предмет исследования Объект исследования – АСМ-изображения тестовых структур Предмет исследования – алгоритмы обработки и анализа изображений (извлечения данных), методы численного приближения корректирующей функции

Научная гипотеза Предварительная обработка изображения Извлечение из обработанного изображения значимой информации (определенных точек) Построение по данным точкам корректирующей функции

Основные результаты Разработан набор фильтров для очистки изображения от помех и устранения тренда Разработан алгоритм выделения опорных точек изображения Интерполяция корректирующей функции

Основные результаты Применение фильтров

Основные результаты Выделение опорных точек

Основные результаты Корректирующая функция

Положения, выносимые на защиту Алгоритм предварительной обработка АСМ- изображений тестовых структур при помощи разработанного набора фильтров Алгоритм коррекции нелинейности сканера АСМ на изображениях тестовых структур

Спасибо за внимание